公开/公告号CN114032489A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-02-11
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院兰州化学物理研究所;
申请/专利号CN202111349257.4
申请日2021-11-15
分类号C23C4/129(20160101);C23C4/073(20160101);C22C30/00(20060101);
代理机构62002 兰州中科华西专利代理有限公司;
代理人曹向东
地址 730000 甘肃省兰州市城关区天水中路18号
入库时间 2023-06-19 14:11:11
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-01
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 4/129 专利申请号:2021113492574 申请日:20211115
实质审查的生效
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