一种宽域氧传感器结构、烧结方法以及烧结过程热应力的有限元分析方法

摘要

本发明公开了一种宽域氧传感器结构、烧结方法以及烧结过程热应力的有限元分析方法，以氧化铝生片层、氧化锆生片层和镁铝尖晶石生片层为研究对象，设计了一种宽域氧传感器结构，并将烧结过程划分为加压热处理、预烧结和正式烧结三个阶段，制定各个阶段的烧结方案；针对这三个阶段分别设置条件，联动ANSYS Workbench软件的子模块Transient Thermal和Static Structural进行分析，得到应力分布云图和应变分布云图；本发明设计的传感器结构及烧结方法形成的产品成品率大大提高，方便在每个阶段控制产品质量；同时提供的有限元分析方法当材料属性和研究对象的形状结构确定时，根据不同的烧结方案可以得到不同的仿真模拟结果，不局限于所用案例的限制，具有普适性。