对在电子显微镜下研究的样品的漂移校正的自动化应用

摘要

本发明涉及一种配置成在电子显微镜环境中进行样品跟踪的控制系统。该控制系统对与位于利用电子显微镜观察的样品的活动区域内的受关注区域相关联的移动进行配准。被配准的移动包括至少一个方向分量。受关注区域位于电子显微镜的视场内。该控制系统指示对电子显微镜控制组件进行调整，以对通过电子显微镜观察的受关注区域的画面进行动态居中和/或动态聚焦。该调整包括对大小要素和/或方向要素的调整。