多层超导制品、超导线圈、致动器、马达、平台设备和光刻设备

摘要

本发明提供一种在纵向方向(LD)上延伸的多层超导制品(600)，所述制品包括：‑在所述纵向方向上延伸的衬底层(610)；‑在所述纵向方向上延伸的超导层(620)；‑在所述纵向方向上延伸的另一层(630)；其中，所述衬底层或所述另一层包括在所述纵向方向上和在横向方向上延伸的一个或更多个冷却突出部。