基于碳纳米管/二氧化钛/聚乙烯亚胺复合膜的电阻型湿度传感器及其制备方法

摘要

本发明涉及湿度和气体传感技术领域，尤其涉及一种基于碳纳米管/二氧化钛/聚乙烯亚胺复合膜的电阻型湿度传感器及其制备方法。传感器的传感单元包括滴涂在银叉指电极上的CNT/TiO2/PEI敏感层，敏感层为滴涂在聚二甲基硅氧烷薄膜衬底以及银叉指电极表面CNT/TiO2杂化多空材料，以及滴涂在CNT/TiO2多空杂化材料表面的聚乙烯亚胺。CNT是表面接枝羟基的CNT，主要作为湿敏元的骨架和电子传输的通道以及二氧化钛的附着点。二氧化钛主要作为水蒸气吸附的场所之一，并向CNT传输并放大吸附产生的电信号，PEI膜对水分子具有很强的可逆吸附性，并把其吸附的水分子产生的电信号传送给二氧化钛和碳纳米管。