半导体器件测量数据的处理方法、处理系统及计算机设备

摘要

本发明涉及一种半导体器件测量数据的处理方法、处理系统及计算机设备。上述处理方法，应用于处理服务器，包括建立所述处理服务器与量测机台服务器之间的数据传输；获取所述量测机台服务器上的量测数据文件；将所述量测数据文件转换成预设报表，并将所述预设报表存储在所述处理服务器的数据库中。本申请通过将量测数据文件转换成预设报表，并将所述预设报表存储处理服务器的数据库中，工程师在需要时调用查看处理服务器数据库中的预设报表即可，避免了工程师查看不同量测机台提供的量测报告时，因量测报告差异较大或量测报告不满足量测结果分析的要求，需要花费时间处理量测数据的问题。