对准、重叠、配置标记、制造图案形成装置和图案化标记的方法

摘要

一种谐振振幅光栅标记具有周期性结构，所述周期性结构被配置为散射入射(600)到对准标记上的波长为λ的辐射(602)。散射主要是由于将入射辐射耦合到周期性结构中的波导模式而造成的。周期性结构的各部分的有效折射率(nl，n2)和长度(dl，d2)被配置为提供单位单元在周期性方向上的光路长度(n1d1+n2d2)，所述光路长度(n1d1+n2d2)等于辐射的光谱中呈现的波长的整数倍(mλ)。这些部分的有效折射率(nl，n2)和长度(dl，d2)还被配置为提供第二部分在周期性方向上的光路长度(n2d2)，所述光路长度(n2d2)为辐射的光谱中呈现的波长的0.30倍至0.49倍。