公开/公告号CN113977783A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-01-28
原文格式PDF
申请/专利权人 环球晶圆股份有限公司;
申请/专利号CN202110838960.5
发明设计人 林钦山;
申请日2021-07-23
分类号B28D5/00(20060101);B28D5/04(20060101);
代理机构11205 北京同立钧成知识产权代理有限公司;
代理人贺财俊;臧建明
地址 中国台湾新竹市科学工业园区工业东二路8号
入库时间 2023-06-19 14:03:27
机译: 将圆柱状锭块加工成矩形棱晶块的切割装置和切割方法
机译: 晶圆的切割方法和切割装置
机译: 晶圆切割装置及切割方法