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用于制造净化基体或进一步处理的清洁基体的方法和装置

摘要

基体的等离子体腐蚀清洁通过包括电子源阴极(5)和阳极装置(7)的等离子体放电装置实施。阳极装置(7)包括一方面的阳极电极(9)以及另一方面的以及与其电绝缘的限制装置(11)。限制装置(11)具有朝向待清洁的基体(21)的区域(S)的开口(13)。电子源阴极(5)和阳极电极(9)由具有电源(19)的供电电路供电。电路电浮动式操作。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2013-03-20

    授权

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  • 2009-11-04

    实质审查的生效

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  • 2009-09-09

    公开

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