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一种改进性的柔性无芯3D印刷集成电路模压工艺

摘要

本发明提供了改进性的柔性无芯3D印刷集成电路模压工艺,包括集成电路载体工艺和集成电路组装工艺,所述集成电路载体工艺流程包括101、蚀刻;102、电镀;103、遮罩去除;104、回填;105、烧结;106、激光刻槽应用,所述集成电路组装工艺流程包括201、倒装芯片应用;202、造模;203、背面侵蚀。相比于现有技术,本发明通过采取一系列措施将银膏容器直接创建在金属基板上,不再使用光刻胶;采用激光刻槽,以产生创建塑封轨迹,同时加入锡,解决了银变色问题,还在不产生损伤的前提下有效干净地去除基板。

著录项

  • 公开/公告号CN113990760A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-01-28

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 苏州链芯半导体科技有限公司;

    申请/专利号CN202111246959.X

  • 发明设计人 杨志强;陈健平;

    申请日2021-10-26

  • 分类号H01L21/48(20060101);H01L21/56(20060101);

  • 代理机构32435 苏州科洲知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人周亮

  • 地址 215000 江苏省苏州市工业园区新平街388号腾飞科技园15幢401室

  • 入库时间 2023-06-19 14:01:55

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