公开/公告号CN113991004A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-01-28
原文格式PDF
申请/专利权人 东莞市中麒光电技术有限公司;
申请/专利号CN202111244539.8
申请日2021-10-26
分类号H01L33/62(20100101);H01L33/44(20100101);H01L33/48(20100101);H01L33/00(20100101);
代理机构44202 广州三环专利商标代理有限公司;
代理人张艳美;赵月芬
地址 523000 广东省东莞市东城街道桑园工业路17号
入库时间 2023-06-19 14:01:55
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-01-28
公开
发明专利申请公布
机译: 一种清洁用于制造OLED器件的真空系统的方法,一种用于制造OLED器件的基板上的真空沉积方法,以及用于在用于制造OLED器件的基板上真空沉积的装置
机译: 用于清洁用于制造OLED器件的真空系统的方法,用于制造OLED器件的基板上的真空沉积方法,以及用于制造OLED器件的基板上的真空沉积的装置
机译: 用于清洁用于制造OLED器件的真空系统的方法,用于制造OLED器件的基板上的真空沉积方法,以及用于制造OLED器件的基板上的真空沉积的装置