一种乙硅烷残气瓶处理装置

摘要

本发明提供一种乙硅烷残气瓶处理装置，包括钢瓶，钢瓶上连接有主管路，钢瓶外侧设置有加热带，主管路外端连接有真空泵，主管路左侧连接有左支路，左支路外端分别连接换气罐，主管路右侧连接有右支路，右支路外端为排放口。本发明通过在钢瓶外侧设有加热带进行加热，将瓶内的液相气体快速转变为气相，便于置换处理，减少置换气的加入次数，降低能耗，缩短处理时间，结构简单，使用便捷。