公开/公告号CN113970942A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-01-25
原文格式PDF
申请/专利权人 上海复旦微电子集团股份有限公司;
申请/专利号CN202010713927.5
申请日2020-07-22
分类号G05D23/22(20060101);G01R1/04(20060101);G01R31/00(20060101);
代理机构11227 北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人陆磊
地址 200433 上海市杨浦区国泰路127号复旦国家大学科技园4号楼
入库时间 2023-06-19 14:00:21
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-08-09
发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):G05D23/22 专利申请号:2020107139275 申请公布日:20220125
发明专利申请公布后的撤回
机译: 用于控制由光刻设备的夹具保持的物体的温度的方法,用于保持光刻设备的物体的夹具和光刻设备的夹具
机译: 适用于具有通用串行总线c型插座的电子设备的测试夹具和测试系统,以及借助测试夹具在电子设备上进行测试的方法
机译: 支持电子设备测试的系统,该系统的温度控制单元以及用于控制该系统腔室的内部温度的方法