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控制老炼温度的方法、用于老炼测试的夹具、设备和系统

摘要

本发明实施例提供一种控制老炼温度的方法、用于老炼测试的夹具、设备和系统。该方法包括:获取待测器件的温度测量值和设定值;基于温度测量值和设定值调节加热待测器件的控制参数。该控制老炼温度的方法可以通过本发明实施例提供的用于老炼测试的夹具、设备以及系统来实现。相较于现有技术,采用本发明实施例提供的技术方案,可实现老炼测试过程中单个待测器件的老炼温度的精确控制。

著录项

  • 公开/公告号CN113970942A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-01-25

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 上海复旦微电子集团股份有限公司;

    申请/专利号CN202010713927.5

  • 申请日2020-07-22

  • 分类号G05D23/22(20060101);G01R1/04(20060101);G01R31/00(20060101);

  • 代理机构11227 北京集佳知识产权代理有限公司;

  • 代理人陆磊

  • 地址 200433 上海市杨浦区国泰路127号复旦国家大学科技园4号楼

  • 入库时间 2023-06-19 14:00:21

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-08-09

    发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):G05D23/22 专利申请号:2020107139275 申请公布日:20220125

    发明专利申请公布后的撤回

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