基于涡旋光束的暗场共聚焦拉曼偏振光谱测量装置与方法

摘要

基于涡旋光束的暗场共聚焦拉曼偏振光谱测量装置与方法，属于光学精密测量技术领域。本发明装置包括光纤双波长光照明模块、明场共聚焦模块、暗场偏振共焦拉曼光谱分析模块；通过光纤产生环形照明光束与互补孔径遮挡探测，有效分离样品表面反射信号与亚表面散射信号，可同时获取微米级表面及亚表面划痕、磨损及亚表面裂痕、气泡等缺陷的三维分布信息；共聚焦拉曼光谱测量可对样品化学分子成分等性质进行三维检测分析；通过引入偏振信息测量，可以分析物质极性。