公开/公告号CN113961991A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-01-21
原文格式PDF
申请/专利权人 武汉一冶建筑安装工程有限责任公司;中国一冶集团有限公司;
申请/专利号CN202111135479.6
申请日2021-09-27
分类号G06F30/13(20200101);G06F30/20(20200101);E04F21/08(20060101);G06F119/02(20200101);
代理机构42102 湖北武汉永嘉专利代理有限公司;
代理人程力
地址 430081 湖北省武汉市八大家花园43街坊青山政务服务中心大楼一冶建安公司
入库时间 2023-06-19 13:58:51
机译: 工艺参数选择单元,工艺参数选择方法,工艺参数选择程序,程序记录介质以及包括工艺参数选择单元的制造工艺控制系统
机译: 工艺和自动化技术中用于确定被测物料的至少一个工艺参数的现场设备的选择方法
机译: 自动检测最佳光刻工艺参数的设备以及使用该设备自动检测最佳光刻工艺参数的方法