多功能超宽谱光学真空系统

摘要

本发明揭示了一种多功能超宽谱光学真空系统，系统整体设置于支撑台架上，包括超高真空腔体，其外周侧开设有多个连接法兰口；超高真空腔体的一侧桶壁借助连接有快速进样腔、另一侧桶壁上设置有两组光学窗口组件、顶侧桶壁连接有两台重载型中空Z轴线性驱动器；支撑台架上还设置有一台四维样品台，四维样品台的样品杆部分从超高真空腔体的一侧端面伸入其内部。本发明能够在一套系统中实现真空环境下对材料表面结构和组成的检测以及对材料生长过程的实时多光谱观测，从而更好地理解和控制材料的生长过程。