用于外延腔室的隔热组件

摘要

本文公开的是一种用于处理腔室的隔热组件。处理腔室包括主体，该主体具有侧壁、底部和盖件，该侧壁、该底部和该盖件限定内部空间。隔热组件设置在内部空间中，且包括隔热件和预热构件。预热构件包括内圆周，并定位于隔热件下方。基座设置在内部空间中并经配置支撑基板，且基座定位于预热构件的内圆周内。开口定位于基座和预热构件之间。开口的第一部分靠近气体入口，并且被隔热件覆盖。环形开口的第二部分靠近气体出口，并且没有被隔热构件覆盖。