公开/公告号CN113932908A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-01-14
原文格式PDF
申请/专利权人 北京理工大学;无锡微奥科技有限公司;
申请/专利号CN202111150366.3
申请日2021-09-29
分类号G01H9/00(20060101);
代理机构11449 北京成创同维知识产权代理有限公司;
代理人刘静;李秀霞
地址 100081 北京市海淀区中关村南大街5号
入库时间 2023-06-19 13:54:12
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-01-14
公开
发明专利申请公布
机译: 作为MEMS镜扫描仪的驱动方式和MEMS致动器扫描仪的驱动方式以及MEMS镜扫描仪的驱动方式,其中
机译: 用于MEMS镜扫描仪的MEMS驱动方法及使用该方法的MEMS镜扫描仪的驱动装置
机译: 导弹激光制导系统包括两个带偏转镜的光学偏转器,这些振镜带有不受摩擦的振镜,这些振镜由检流计控制,从而使激光束以花朵花瓣的形式进行空间扫描