一种钎焊连接AlN陶瓷与Cu的方法

摘要

本发明公开了一种钎焊连接AlN陶瓷与Cu的方法，以AgCuTiAl复合钎料箔片作为中间层，对AlN陶瓷与Cu在真空条件下进行钎焊连接，钎焊温度850℃‑875℃，保温时间为10‑30min；所述AgCuTiAl复合钎料箔片组成为：Ag68‑72％、Cu 25‑30％、Ti 2％‑6％，余量为Al。采用本发明所述方法能够有效缓解接头残余应力，提高接头强度，得到可靠的AlN陶瓷和Cu焊接接头。