一种镜面光学元件表面形状测量的方法及装置

摘要

本发明涉及一种镜面光学元件表面形状的测量方法及装置，在现代光学精密制造中，光学镜面的表面检测技术是制造精度的重要保证，现有技术难以满足其检测需求。为了解决光学镜面非接触式高精度检测的问题。本发明提供了一种简单快捷的方案，主要包括以下步骤：1）将被测件以及显示屏同时放在面阵相机的视场内；2）对相机参数进行标定；3）找到显示屏与经过镜面反射后像点的对应坐标；4）确定镜面法线参数及其到相机的距离；5）使用条纹法计算镜面表面梯度；6）利用梯度算法重建被测件表面面形。本发明能够以较高的精度测量出表面形状，实现一种非接触式的高效测量。