一种基于虚拟针孔共焦技术的轴向定位系统及方法

摘要

本发明公开了一种基于虚拟针孔共焦技术的轴向定位系统，包括：非相干光源、准直透镜、分光镜、物镜、样品台、聚焦透镜以及光电探测器CCD，所述样品台、物镜、分光镜、聚焦透镜、光电探测器CCD位于同一纵向光轴上，所述非相干光源、准直透镜位于同一水平光轴上，其中，所述非相干光源、准直透镜顺次设置在分光镜的入射光路上，所述物镜、样品台顺次设置在分光镜背离物镜的一侧上，所述聚焦透镜、光电探测器CCD顺次设置在分光镜的反射光路上，本发明结构简单、成本低，显著降低了实现共焦探测的难度。