一种新型厚针孔有效孔径检测方法

摘要

本文使用Lucy-Richardson图像超分辨处理方法,引入虚拟点扩散函数,建立了一种新的超细长厚针孔孔径加工精度的检测方法,在这种测量原理中,已知理想图像及降质图像,使用虚拟点扩散函数对降质后的图像进行复原重建,通过比较理想图像与重建图像判断虚拟点扩散函数的正确性.首先模拟点扩散函数对图像重建的影响,使用理想点扩散函数对图像复原重建能够得到理想的复原图像,当点扩散函数尺寸较大时重建图像尺寸相对理想图像较小.在钴辐射源进行相关实验,使用已知孔径为1.0mm屏蔽准直器对辐射源进行限束准直,使用孔径分别为0.7mm和0.45mm的厚针孔对尺寸为φ1mm的辐射源成像,使用空间分辨为0.05mm×0.05mm的成像板记录辐射图像,假设厚针孔加工精度满足实验要求.使用模拟计算的成像系统点扩散函数对记录图像进行复原重建.在强度为50％处,使用孔径为0.7mm厚针孔能够得到均匀辐射源图像,但使用孔径为0.45mm厚针孔得到椭圆形状的辐射源图像,长短轴之比约为5:3,其测量结果与已知物体尺寸相比差异较大,说明虚拟点扩散函数与实际点扩散相差较大,间接证明了0.45mm厚针孔的加工精度与设计相差较大.