公开/公告号CN113918887A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-01-11
原文格式PDF
申请/专利权人 中铁工程装备集团有限公司;
申请/专利号CN202111086341.1
申请日2021-09-16
分类号G06F17/18(20060101);G06F16/2457(20190101);G06F16/2458(20190101);E21D9/06(20060101);
代理机构41119 郑州睿信知识产权代理有限公司;
代理人吴敏
地址 450000 河南省郑州市经济技术开发区第六大街99号
入库时间 2023-06-19 13:51:08
机译: 半导体装置制造工序中的膜的设备及处理量测定方法,使用该膜的处理材料的装置处理方法,及使用该工序的装置终点确定方法
机译: 加工工序确定方法及加工工序设计装置
机译: 加工工序确定方法及加工工序设计装置