图型化电极诱导和微波固化制作纳米结构的装置和方法

摘要

本发明是一种图型化电极诱导和微波固化制作纳米结构的装置和方法。该装置包括：成形系统，成形材料，基底，纳米结构诱导系统，微波固化系统。基于该装置制作纳米结构的方法包括如下步骤：1）成形系统制作；2）基底预处理；3）涂铺成形材料；4）成形系统定位；5）诱导生成纳米结构；6）纳米结构微波固化；7）脱模。本发明具有结构简单、成本低、生产率高、电极使用寿命长、图形精度高等特点，可实现100纳米以下纳米结构高效和低成本制作。