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对湿度和温度可忽略响应的气体传感器

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摘要

在一个示例中，提供了一种气体传感器。该气体传感器包括基板、在基板的外边缘上形成的隔离区、在隔离区上形成的微加热器、在隔离区内部的基板上形成的感测层，以及在感测层周围和隔离区内部形成的源极和漏极。

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2022-05-10

实质审查的生效 IPC(主分类):G01N25/30 专利申请号:2020800388078 申请日:20200423

实质审查的生效

1. 对湿度和温度可忽略响应的气体传感器 [P] . 中国专利： CN113924477A . 2022-01-11
2. 集成温度湿度气体传感的传感器电路制造方法及传感器 [P] . 中国专利： CN106082102B . 2017.12.15
3. Sensor device for measuring humidity, pressure and temperature in a hydrogen process gas stream in a Brennstoffzellenanordung, hydrogen fuel cell assembly and the use of the sensor device for measuring the pressure, the temperature and the relative humidity in a gas process flow for a drive unit [P] . 德国专利： DE102005048486B4 . 2009-02-26

机译：传感器装置，用于测量氢燃料电池组件Brennstoffzellenanordung中的氢气处理气流中的湿度，压力和温度，以及该传感器装置用于测量驱动单元的气体处理流程中的压力，温度和相对湿度的用途
4. Determining relative moisture of air and gases under changing pressure and temperature ratios comprises acquiring moisture signals using drift-free sensor, and releasing within common temperature region of sensors [P] . 德国专利： DE10339403B3 . 2004-12-09

机译：在变化的压力和温度比下确定空气和气体的相对湿度包括使用无漂移传感器获取湿度信号，并在传感器的公共温度范围内释放
5. GAS SENSORS WITH NEGLIGIBLE RESPONSE TO HUMIDITY AND TEMPERATURE [P] . 世界知识产权组织专利： WO2020219758A1 . 2020-10-29

机译：对湿度和温度的响应微不足道的气体传感器