传感器装置、和用所述传感器装置来感测介质中的目标流体的量或浓度的方法

摘要

传感器装置包括具有位于微型泵出口处的常闭安全阀的第一微型泵、具有位于微型泵出口处的常闭安全阀的第二微型泵、以及具有传感器腔室的传感器，传感器腔室具有位于传感器腔室中的传感器元件(例如，有源敏感区或层)，其中传感器被配置成基于传感器腔室中的流体(例如，气体或液体)的状态来提供传感器输出信号。传感器腔室被流体地耦接在第一和第二微型泵之间，并且第一和第二微型泵被配置成基于第一和第二微型泵的对应的启动或操作状态来提供传感器装置的限定的操作模式，以提供：(1)在传感器腔室中的限定的负流体压力，(2)在传感器腔室中的限定的正流体压力，或(3)通过传感器腔室的限定的流体流量，例如限定的流体通过量。