一种硅基异质结电池的退火设备及退火方法

摘要

本发明公开了一种硅基异质结电池的退火设备及退火方法，所述硅基异质结电池包括非晶硅层、透明导电膜层和电极栅线，所述退火设备包括加热腔室；加热光源，在所述加热腔室外的一相对侧设置有若干个；其中，所述加热光源包括长波激光源和短波激光源，所述长波激光源发射第一激光，所述第一激光的频率低于所述透明导电膜层的禁带宽度且高于所述非晶硅层的禁带宽度，所述短波激光源发射第二激光，所述第二激光的频率高于所述透明导电膜层的禁带宽度。本发明采用不同波段的激光对电池的非晶硅层和透明导电膜层进行分段加热和分段退火，避免透明导电膜层受到影响而降低其材料的光电性能，使电极栅线也可以有多种选择，有利于提高异质结电池的效率。