掩模版辅助静态图像测量装置及掩模版静态图像测量系统

摘要

本发明属于尺寸测量技术领域，尤其涉及一种掩模版辅助静态图像测量装置及掩模版静态图像测量系统，其中，掩模版辅助静态图像测量装置包括：载物台，包括由透光材料制成并用于支撑掩模版的支撑结构；光源组件，包括左侧平行光源板、右侧平行光源板、前侧平行光源板、后侧平行光源板和底面平行光源板；反射吸光结构，设于掩模版的四周。本发明通过一次图像静态图像获取测量，即可自动计算并测量出掩模版的外形尺寸、掩模版上的掩模图形到掩模版外边缘的距离，测量速度快、效率高，且属于无接触测量，不会划伤掩模版外表面。