基于低相干干涉的非接触式材质自适应表面形貌检测装置及方法

摘要

本发明涉及基于低相干干涉的非接触式材质自适应表面形貌检测装置及方法。该装置由计算机、宽带光源、光电探测器、数据采集卡、2x2耦合器、1x2耦合器、二维位移平台、可调光学衰减器、光纤回射器、光学延迟线、光纤隔离器、准直器、待测物组成。宽带光源发出的光经耦合器分为测量光与参考光两路，当参考光与测量光光程相等时，发生相干干涉现象，通过计算机解算可得物体表面三维微形貌。耦合器、可调光学衰减器、光电探测器、数据采集卡、计算机组成材质自适应结构，实现多材质表面三维微形貌的测量。本发明还提供了一种基于低相干干涉的非接触式材质自适应表面形貌检测方法。本发明具有非接触式测量、多种材质自适应、测量精度高等特点。