Zastosowanie koherencyjnej interferometrii korelacyjnej do pomiarów topografii powierzchni

摘要

Do dok?adnej oceny topografii powierzchni cz?sto stosuje si? metody interferencyjne wykorzystuj?ce ?wiat?o bia?e. W referacie przedstawiono metod? opart? na analizie maksymalnej warto?ci stopnia koherencji czasowej dwóch interferuj?cych fal. Analiza ta jest dokonywana jednocze?nie w wielu punktach badanej powierzchni. Metoda ta ma wiele zalet, takich jak szeroki zakres pomiarowy, wysoka dok?adno?? i krótki czas pomiaru. W artykule zaprezentowano wyniki pomiarów topografii ró?norodnych powierzchni otrzymane za pomoc? tej metody.