移相干涉技术在活塞外径测量中应用

摘要

基于传统接触式测长仪器存在不足,通过对长度干涉仪测量原理方法的分析研究,提出采用移相干涉技术进行瞄准定位的方法,并应用在活塞外径测量系统中。通过实验验证:采用双移相干涉测头结构的活寨外径测量系统,对活塞表面瞄准定位的重复性较好,活塞外径系统测量不确定度达到0.1μm,移相干涉在高精度基准活塞外径测量中成功应用,具有较好的推广价值。