相位偏移干涉测量中移相误差补偿技术研究

摘要

在相位偏移干涉测量技术中,一阶线性和二阶非线性移相误差是产生相位检测误差的主要因素.在研究移相误差对相位偏移干涉法测量精度影响的基础上,提出五步移相算法一阶线性和二阶非线性移相误差补偿技术.该方法从相位偏移干涉图中拟和出移相过程中存在的移相误差,对五幅算法结果进行误差修正.试验证明移相器存在10%一阶线性误差和1%二阶非线性误差时,五幅算法相位检测误差为0.12弧度;采用该补偿方法可以将相位测量精度减少到0.02弧度,相当于采用氦氖激光器的倍程干涉仪中位移测量精度从6.0nm提高到1nm.