一种用于芯片缺陷检测系统图像获取的照明装置

摘要

本发明公开了一种用于芯片缺陷检测系统图像获取的照明装置，包括遮光罩、镜头固定座、同轴平行光源模块和漫射光源模块，所述镜头固定座安装在遮光罩的上端。本发明所述的一种用于芯片缺陷检测系统图像获取的照明装置，通过设有的同轴平行光源模块和漫射光源模块，当平行光线照射在芯片表面时，引脚面和中心焊盘等金属区域部分在平行光的照射下发生镜面发射，而塑封面由于其表面粗糙度较大，则发生漫反射，而由漫射光源模块的漫射LED灯珠发射的漫射光照射在芯片表面时，可以增强照射在塑封面表面的光照强度，使得芯片表面缺陷成像效果更加的均匀，可以提高芯片表面缺陷图像的质量，有利于后续更好的对图像进行处理和分析。