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具有高流量和高均匀性的使用点动态浓度输送系统

摘要

描述了一种用于在给定的分配期间以极高的均匀性和可重复性按动态变化或静态的比率混合液体化学品的方法和系统。混合器包括多个流体供应管线,该多个流体供应管线包括细长囊,这些细长囊限定线性流动路径且被配置为横向地扩展以收集过程流体并且横向地收缩以将选定体积的过程流体输送到该混合器。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-05-10

    实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/30 专利申请号:2020800321612 申请日:20200324

    实质审查的生效

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