公开/公告号CN113767338A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-12-07
原文格式PDF
申请/专利权人 东京毅力科创株式会社;
申请/专利号CN202080032161.2
申请日2020-03-24
分类号G03F7/30(20060101);H01L21/67(20060101);G03F7/16(20060101);B01F13/00(20060101);
代理机构11227 北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人陈炜;李德山
地址 日本东京都
入库时间 2023-06-19 13:37:05
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-05-10
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/30 专利申请号:2020800321612 申请日:20200324
实质审查的生效
机译: 使用高流量和高均匀性的使用点动态聚焦输送系统
机译: 高流动性和高均匀性的使用点动态浓缩系统
机译: 高流动性和高均匀性的使用点动态浓缩系统