一种硅基集成宽带高速可调谐微波光子移相器芯片

摘要

本发明提供一种硅基集成宽带高速可调谐微波光子移相器芯片，在单个芯片上集成了高速电光调制器、可调谐微盘光滤波器、光移相器、高速光电探测器等多个核心关键光电器件，并提出融合等离子体色散效应和热光效应的复合光相位调控机制，对快速光移相器进行电光与热光调制，可实现对宽带射频信号相位在360°大范围内的高速、精细调节。