一种非接触式介电表面电势检测装置及方法

摘要

本发明公开了一种非接触式介电表面电势检测装置及方法，装置包括：计算机，用于进行静电电位传感器的数字化采集、处理、和存储，进行静电电位三维空间分布的非接触式测试成像，为用户提供可视化操作，对机械臂的运行进行控制；机械臂，用于在机械臂初始化之前对静电电位传感器的感应电极前端的坐标系进行标定，在计算机的控制下带动静电电位传感器进行运动；静电电位传感器，用于在机械臂的带动下，在被测件表面三维空间内扫描，在被测件表面产生的电位梯度的空间内运动产生感应信号并进行采样和处理；交/直流激励信号源，用于在需要时向被测件施加交/直流激励信号；示波器，用于接收并显示静电电位传感器产生的感应信号。