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用于高速测量表面起伏的装置

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摘要

用于测量表面起伏的装置提供了相敏摄像装置和处理，以在用已知光源照射表面时重建与该表面匹配的波前轮廓，从而提供非接触式表面起伏测量。

公开/公告号CN113892012A

专利类型发明专利
公开/公告日2022-01-04

原文格式PDF
申请/专利权人威斯康星校友研究基金会;
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申请/专利号CN202080037057.2
发明设计人李舜规;俞宗福;
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申请日2020-04-27
分类号G01B11/30(20060101);G01B11/24(20060101);H04N5/372(20060101);H04N5/374(20060101);
代理机构11227 北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人刘雯鑫;姚文杰
地址美国威斯康星州
入库时间 2023-06-19 13:30:50

1. 用于高速测量表面起伏的装置 [P] . 中国专利： CN113892012A . 2022-01-04
2. 一种探测晶圆表面起伏的测量装置及激光隐形切割系统 [P] . 中国专利： CN209303898U . 2019.08.27
3. ROAD SURFACE FLUCTUATION HEIGHT MEASURING DEVICE AND METHOD FOR MEASURING FLUCTUATION HEIGHT OF ROAD SURFACE [P] . 日本专利： JP2004125583A . 2004-04-22

机译：道路表面起伏高度测量装置及测量道路表面起伏高度的方法
4. Signal processing method and apparatus for use in real-time subnanometer scale position measurements with the aid of probing sensors and beams scanning periodically undulating surfaces such as gratings and diffraction patterns generated thereby, and the like [P] . 美国专利： US7430484B2 . 2008-09-30

机译：借助探测传感器和光束扫描周期性起伏的表面（例如光栅和由此产生的衍射图样等），用于实时亚纳米级位置测量的信号处理方法和装置
5. Signal processing method and apparatus for use in real-time subnanometer scale position measurements with the aid of probing sensors and beams scanning periodically undulating surfaces such as gratings and diffraction patterns generated thereby, and the like [P] . 美国专利： US2007233413A1 . 2007-10-04

机译：借助探测传感器和光束扫描周期性起伏的表面（例如光栅和由此产生的衍射图样等），用于实时亚纳米级位置测量的信号处理方法和装置