基于机械声学的无线全集成柔性可拉伸人工喉及制备方法

摘要

本发明公开了一种基于机械声学的无线全集成柔性可拉伸人工喉及制备方法，包括：底层弹性体制备、蛇形电极层和PI网络层刻蚀、转移覆有PI的蛇形电极层、制备隔离绝缘层、芯片层、被动器件层和蛇形电极层低温回流焊、顶层器件封装和导电凝胶电极制备与集成。通过蛇形网络电极阵列感应表皮微弱肌电信号实现对喉咙附近的神经信号进行分析，结合加速度传感器对声音、运动、呼吸、心率等机械振动实现捕获。解决医疗器件与人体不能完美集成的缺陷，保障人体信息采集不失真。