用于声表面波器件的复合衬底及制造方法、声表面波器件

摘要

本发明提出了一种用于声表面波器件的复合衬底，压电薄膜，压电薄膜为单晶薄膜；基底，具有在基底厚度方向上相对的第一侧和第二侧，基底传播的体波声速高于压电薄膜传输的声表面波声速；氧化层，氧化层设置在所述基底与压电薄膜之间，氧化层为多晶薄膜，氧化层传播的体波声速低于压电薄膜传播的声表面波声速，氧化层具有大于零的频率温度系数，氧化层的厚度为30nm以上。由此，能够不易产生翘曲，降低插入损耗、提高温度稳定性。