金刚石基声表面波器件衬底的制备研究

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本文对金刚石基声表面波器件衬底的制备进行了研究。文章使用射频磁控溅射技术在多层金刚石薄膜上沉积了ZnO压电薄膜。利用XRD技术分析了衬底加热温度、工作气压和退火气氛对ZnO薄膜结构特性的影响。在衬底加热温度250℃，工作气压0.4Pa时得到了具有较好c轴取向和结晶质量的ZnO薄膜；经空气或氮气中退火，ZnO薄膜的c轴取向程度和结晶质量都有较大提高，但氮气退火后，ZnO表面粗糙度明显增加，而空气退火后，薄膜致密并且平整，表面粗糙度约为9nm(2×2μm2)，且电阻率有显著增加。

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作者
阮建锋;
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作者单位

上海大学;

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授予单位上海大学;
学科材料学
授予学位硕士
导师姓名夏义本;
年度 2006
页码
总页数
原文格式 PDF
正文语种中文
中图分类声光器件;
关键词
声光器件; 金刚石膜; 气相沉积; 磁控溅射;

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