一种控制氮掺杂单晶硅中氮含量的方法、装置及介质

摘要

本发明实施例公开了一种控制氮掺杂单晶硅中氮含量的方法、装置及介质；该方法可以包括：根据拉制晶棒的初始提拉速度和初始籽晶转速，获取有效分凝系数；根据所述有效分凝系数、提拉速度与籽晶转速之间的对应关系，通过当前提拉速度获取当前籽晶转速修正值；按照所述当前籽晶转速修正值对籽晶的旋转速度进行修正，得到修正后的籽晶转速；控制所述籽晶按照所述修正后的籽晶转速进行旋转。