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公开/公告号CN113848602A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-12-28
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院大学;
申请/专利号CN202111168328.0
发明设计人 董国艳;王欢欢;
申请日2021-09-30
分类号G02B5/08(20060101);
代理机构37224 济南日新专利代理事务所(普通合伙);
代理人王书刚
地址 100049 北京市石景山区玉泉路19号(甲)
入库时间 2023-06-19 13:27:45
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-08-11
授权
发明专利权授予
机译: 掩膜基板,多层反射膜基板,反射式掩膜基板,反射式掩膜基板,透射式掩膜基板,透射式掩膜基板以及半导体装置的制造方法
机译: 掩膜基板,多层反射膜基板,反射式掩膜基板,反射式掩膜及半导体制造方法
机译: 蒙版空白基板,带有多层反射膜的基板,透射式蒙版空白,反射式蒙版和半导体设备制造方法
机译:超宽带反射器覆盖基于级联高折射率对比度光栅的整个可见制度
机译:基于纳米多层膜的高反射布拉格反射镜的多功能性和多功能性
机译:通过纳米压印方法制造全向低反射膜,用于升压基于硅的太阳能电池太阳能发电
机译:在超高频段使用一维变形准周期康托带隙结构的全向高反射镜
机译:在具有全向减反射和光子晶体结构的纳米膜中实现完美的光耦合和吸收。
机译:高浓度光伏电池中反射率几乎为零的超宽带全向渐变折射率玻璃透镜的解决方案
机译:准周期性气孔阵列,用于宽带和全向反射抑制
机译:基于铍的多层膜用于垂直入射的极紫外反射