一种六自由度测量光栅尺

摘要

本发明一种六自由度测量光栅尺，包括：激光器，分束与准直模块，偏振分光器，反光模块，自准直模块，测量光栅，线偏振片、六个探测单元和信号采集及处理器。其单只读数头即可实现被测物体六自由度的高精度测量；通过有效的光路设计，可获得大安装容差的Littrow自准直入射测量光栅的光路结构。光栅尺系统整体结构简单紧凑，易于制造，成本低。