具有反射镜分面的马赫-曾德尔干涉仪

摘要

在一些实施方式中，马赫‑曾德尔干涉仪(MZI)包括在芯片中形成的延迟线臂和在芯片中形成的反射镜分面。延迟线臂可以被配置成将光传播到反射镜分面。反射镜分面可以被配置成将由延迟线臂传播到反射镜分面的一定百分比的光反射到延迟线臂。