公开/公告号CN113709984A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-11-26
原文格式PDF
申请/专利权人 德中(天津)技术发展股份有限公司;
申请/专利号CN202111001594.4
申请日2021-08-30
分类号H05K3/00(20060101);H05K3/28(20060101);
代理机构12201 天津市北洋有限责任专利代理事务所;
代理人王丽
地址 300392 天津市滨海新区华苑产业区/(环外)海泰华科一路11号C座东区
入库时间 2023-06-19 13:23:06
机译: 用于化学增幅抗蚀膜的有机加工液,用于化学增幅抗蚀膜的有机加工液的容器,图案形成方法,制造电子设备的方法以及使用该电子设备的电子设备
机译: 用于化学增幅抗蚀膜的有机加工液,用于化学增幅抗蚀膜的有机加工液的容器,图案形成方法,制造电子设备的方法以及使用该电子设备的电子设备
机译: 衰减射线敏感或辐射敏感的树脂组合物,抗蚀膜,图案形成方法,电子设备的制造方法,抗蚀膜制成的掩模毛坯,抗蚀膜制成的掩模毛坯的图案形成方法