Etching; Images; Reprints; Processing; Oxygen; Plasmas(Physics); Surfaces; Magneticproperties; Profiles; Ions; Layers; Patterns; Coatings; Radiofrequency; Drying; Anisotropy; Wafers; Silicon; Methyl radicals; Transfer; Polymers; Plastics;
机译:负混合溶胶-凝胶抗蚀剂作为硬蚀刻掩模,用于通过干蚀刻进行图案转印
机译:通过贴花转移光刻和反应性离子束蚀刻在电子材料上的聚二甲基硅氧烷抗蚀剂的微米和亚微米图案化:在高迁移率薄膜晶体管的制造中的应用
机译:用于图案转移到混合和匹配结构抗蚀剂层的硅的低温蚀刻
机译:比较用于抗蚀剂图案转移的蚀刻工具
机译:电子束生成等离子体中高级抗蚀剂蚀刻的比较。
机译:基于快速转移的微图案化和丝微观结构的干蚀刻
机译:图像传输。用于丝网印刷的材料。墨水(蚀刻,抗蚀剂,标记)。
机译:电感耦合等离子体反应离子蚀刻(ICp-RIE):用于高分辨率图案转移的纳米加工工具