一种基于氮氢混合气产生装置的二氧化钒薄膜的制备方法

摘要

本发明提供一种基于氮氢混合气产生装置的二氧化钒薄膜的制备方法，属于二氧化钒薄膜制备技术领域。本发明采用PAD法制备二氧化钒薄膜，针对热处理过程中还原气氛容易发生波动从而影响制备二氧化钒薄膜质量的问题，一套还原气氛产生装置，使得能够在稳定的还原气氛下还原得到高质量的二氧化钒薄膜。本申请通过在管式炉管口处设置氢气浓度检测计，并与氢气产生装置的电压源相连，可以在热处理过程中通过浓度数值变化自动调节电压源的电压大小，从而调控氢气产生速度以控制氢气浓度在外界环境变化时，炉管内氢气浓度在较小范围内波动，从而提供稳定的热处理气氛，从而控制氧化钒的化学计量比，制备出可重复性高、质量高的二氧化钒薄膜。