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一种晶硅熔炉用熔硅液面测距组件及晶硅熔炉

摘要

本发明提供一种晶硅熔炉用熔硅液面测距组件及晶硅熔炉,所述晶硅熔炉用熔硅液面测距组件包括:挂钩部,所述挂钩部包括用于插入所述导流筒的安装孔内的横向杆和相对所述横向杆弯折的纵向杆,所述纵向杆包括相对的第一端和第二端,所述横向杆连接在所述纵向杆的所述第一端;接触部,所述接触部包括相对的第三端和第四端,所述第三端连接在所述纵向杆的所述第二端,且所述接触部与所述纵向杆同轴设置;其中,所述横向杆在垂直于该横向杆的轴线方向上的横截面形状为多边形。本发明提供的晶硅熔炉用熔硅液面测距组件及晶硅熔炉,可提高Melt Gap测量和控制的准确性。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2023-03-07

    实质审查的生效 IPC(主分类):C30B15/20 专利申请号:2020103847180 申请日:20200508

    实质审查的生效

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