一种大尺寸蓝宝石板材导模法生长装置及生长方法

摘要

本发明公开了一种大尺寸蓝宝石板材导模法生长装置及生长方法，包括炉体，所述炉体两侧相对开门结构，采用板状石墨电阻加热器，石墨硬毡作为保温材料，整体热场为双温区结构，圆形坩埚四周有四片板状石墨加热器，为主加热区,包括以下步骤：步骤1：先装炉，然后对炉体内进行抽真空；步骤2：然后对炉体内进行充气，然后对炉体进行升温，实现蓝宝石的融化；步骤3：进行引晶和放肩至等径阶段，并持续到晶体生长完成；步骤4：然后对炉体进行原位退火，再降温至室温，然后取出晶体。本发明双温区的设计避免晶体应力过大产生位错，开裂等缺陷，避免高温下由于熔体温度波动导致晶体产生气泡，确保晶体的高质量。