一种软X射线滤光片及其制备方法和用途

摘要

本发明涉及X射线探测应用领域，特别是涉及一种软X射线滤光片及其制备方法和用途。本发明所提供的软X射线滤光片，包括石墨烯支撑层，所述石墨烯支撑层表面涂覆有铝膜。本申请所提供的软X射线滤光片采用了石墨烯作为铝膜的支撑结构，使得能量在277eV附近的光子，其透过率可达到90％以上，克服了现有滤光片对该能量范围透过率底的问题，而对于能量范围在400‑1000eV的光子，其最低透过率更是达到95％以上，尤其是能量大于1000eV的光子，几乎完全透过。